TMS-2400      

      白光轮廓仪使用模块化设计，可提供最详细的表面粗糙度，纹理微观结构形貌分析。高分辨率500万像素相机可以确保实现各种复杂表面的测量。自动程序和自动转台联动确保了物镜之间的无缝过渡。先进的"对焦仪"和"焦点追踪仪"，使表面在任何情况下都保持自动聚焦。采样全自动的样品定位平台可实现拼接和自动化。

 精准测量 创新驱动   

测量应用

                                        为什么要用TopMap白光干涉仪来测量？         

                                        1.不具有接触性、无破坏性和可重复性

                                        2.自几乎任何表面的三维真实信息 

                                        3.精度、可靠性高，易于自动化 良好的横向分辨率

                                        4.良好的横向分辨率

                                        5.先进的垂直分辨率独立于物镜放大倍数

设备规格

设备规格

                                        优点                               

                                            ●纳米级分辨率的高精度百光千涉仪

                                            ●连续扫描技术可达100mm垂直测量范围

                                            ●配有自动"对焦仪"和"对焦跟踪器"进行自动化

                                            ●电动X、Y、Z，倾斜调平台和转塔无需再重新定位

                                            ●用于缺陷扩展分析和文档记录的颜色信息模式

                                            ●模块化，特定于应用程序的配置

结合三维数据和颜色信息，以实现惊人的视觉化和扩展分析